真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
【蒸的意思】：蒸 zhēng（ㄓㄥ） （一）、热气上升：蒸汽。蒸腾。蒸发。蒸气（液体或固体因蒸发沸腾或升华而变成的 详情>
【镀的意思】：镀（鍍） dù（ㄉㄨˋ） （一）、用电解等化学方法使一种金属附着在别的金属或物体的表面上，形成薄层： 详情>
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• 其中，热蒸镀是将有机材料置于坩锅中，加热至材料的升华温度，使得材料在基板上沉淀。
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