词语繁体：光致抗蝕劑
词语读音：guāng zhì kàng shí jì
首字拼音：Guang
词语拼音：guang zhi kang shi ji
词语简拼：GZKSJ
词语字数：五字词语
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。
【光的意思】：光 guāng（ㄍㄨㄤ） （一）、太阳、火、电等放射出来耀人眼睛，使人感到明亮，能看见物体的那种东西 详情>
【致的意思】：致（緻） zhì（ㄓˋ） （一）、送给，给予：致仕（退休）。致辞。致电。致力。致哀。致命。（二）、招 详情>
【抗的意思】：抗 kàng（ㄎㄤˋ） （一）、抵御：抗击。抗争。抗拒。抵抗。顽抗。（二）、拒绝：抗议。抗上。抗命。 详情>
【蚀的意思】：蚀（蝕） shí（ㄕˊ） （一）、损伤，亏缺：侵蚀。腐蚀。蠹蚀。蚀本。（二）、同“食”。 详情>
【剂的意思】：剂（劑） jì（ㄐ一ˋ） （一）、配合而成的药：剂型。剂量（liáng）。药剂。清凉剂。（二）、量词 详情>
• 光致抗蚀剂的加速老化
• 光致抗蚀剂的电子束曝光
• 光致抗蚀剂用光产酸剂的性质分析
• 无机污染物分析用光致抗蚀剂的制备
• 计算正性光致抗蚀剂的对比度和阈限灵敏度
• 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
• 用于光致抗蚀剂的聚对羟基苯乙烯的合成及其进展
• 测定在蚀刻期间光致抗蚀剂同硬表面光掩膜坯及半导体片的有效粘附性
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