低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
【低的意思】：低 dī（ㄉ一） （一）、地势或位置在一般标准或平均程度之下，与“高”相对：低空。低地。低谷。低潮。 详情>
【温的意思】：温 wēn（ㄨㄣ） （一）、不冷不热：温带。保温。降温。温泉。温和。温床。（二）、性情柔和：温柔。温 详情>
• 制冷机低温泵总规范
• 制冷机低温泵的再生
• 制冷机低温泵的故障及排除
• 气体捕集泵包括吸附泵和低温泵。
• 气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
• 该机抽气系统由低温泵、扩散泵和机械泵组成。
• 目前已完成低温泵的中试生产，开始批量生产。
• 受到各种因素的影响，在发动机整个使用过程中油品低温泵送性可能变得很差。
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