词语繁体：潔凈隧道
词语读音：jié jìng suì dào
首字拼音：Jie
词语拼音：jie jing sui dao
词语简拼：JJSD
词语结构：ABCD式词语
词语字数：四字词语
以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点： A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
【洁的意思】：洁（潔） jié（ㄐ一ㄝˊ） （一）、干净：清洁。整洁。纯洁。洁具。洁癖。（二）、廉明，不贪污或指人 详情>
【净的意思】：净 jìng（ㄐ一ㄥˋ） （一）、清洁：净化。净水。净土。净心（a.清净的心；b.心里没有牵挂）。净 详情>
【隧的意思】：隧 suì（ㄙㄨㄟˋ） （一）、道路，特指门内当中的路。（二）、郊外的地方：“鲁人三郊三隧”。（三） 详情>
【道的意思】：道 dào（ㄉㄠˋ） （一）、路，方向，途径：道路。铁道。志同道合。（二）、指法则、规律：道理。道德 详情>
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