词语繁体：衍射光學元件
词语读音：yǎn shè guāng xué yuán jiàn
首字拼音：Yan
词语拼音：yan she guang xue yuan jian
词语简拼：YSGXYJ
词语字数：六字词语
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
【衍的意思】：衍 yǎn（一ㄢˇ） （一）、延长，开展：衍绎。衍生。推衍。展衍。敷衍。衍生物。（二）、多余的（指文 详情>
【射的意思】：射 shè（ㄕㄜˋ） （一）、放箭：射箭。后羿射日。（二）、用推力或弹力送出子弹等：射击。扫射。发射 详情>
【光的意思】：光 guāng（ㄍㄨㄤ） （一）、太阳、火、电等放射出来耀人眼睛，使人感到明亮，能看见物体的那种东西 详情>
【学的意思】：学（學） xué（ㄒㄩㄝˊ） （一）、效法，钻研知识，获得知识，读书：学生。学徒。学习。学业。学友。 详情>
【元的意思】：元 yuán（ㄩㄢˊ） （一）、头、首、始、大：元凶。元首。元旦。元年。元勋。元帅。状元（科举考试第 详情>
• 采用两次曝光的方法在凹透镜表面上厚光刻胶中制作衍射光学元件。
• 在入射光束的孔径受限制的情况下，利用衍射光学元件来增加激光束的焦深。
• 衍射光学元件有很多制作方法，比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法。
• 激光直写是衍射光学元件的一种先进制作技术，国内激光直写制作技术的水平远没有达到实际应用的要求。
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