词语繁体：襯底支撐組件
词语读音：chèn dǐ zhī chēng zǔ jiàn
首字拼音：Chen
词语拼音：chen di zhi cheng zu jian
词语简拼：CDZCZJ
词语字数：六字词语
拼音：chèn dǐ zhī chēng zǔ jiàn 解释：衬底支撑组件在处理室中支撑衬底。所述的衬底支撑组件具有：支撑块，所述支撑块具有电极;以及臂，用于在所述处理室中支持所述的支撑块，所述的臂具有贯穿其中的通道。所述的臂具有固定到所述支撑块的第一夹板以及固定到所述处理室的第二夹板。多个电导体穿过所述臂的所述通道，而陶瓷绝缘体处在所述的导体之间。
衬底支撑组件在处理室中支撑衬底。所述的衬底支撑组件具有：支撑块，所述支撑块具有电极；以及臂，用于在所述处理室中支持所述的支撑块，所述的臂具有贯穿其中的通道。
【衬的意思】：衬（襯） chèn（ㄔㄣˋ） （一）、近身衣，内衣：衬衫。衬裤。（二）、在里面再托上一层：衬绒。衬砌 详情>
【底的意思】：底 dǐ（ㄉ一ˇ） （一）、最下面的部分：底层。底座。底下（ａ．下面；ｂ．以后）。海底。底肥。（二） 详情>
【支的意思】：支 zhī（ㄓ） （一）、撑持，伸出，竖起：支撑。支援。体力不支。（二）、受得住：乐不可支。（三）、 详情>
【撑的意思】：撑 chēng（ㄔㄥ） （一）、支着，支持：撑竿跳。支撑。撑持（勉强支持）。撑腰（喻给予有力支持）。 详情>
【组的意思】：组（組） zǔ（ㄗㄨˇ） （一）、结合，构成：组成。组合。组阁。组织。组编。（二）、因工作和学习的需 详情>
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