扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
【扩的意思】：扩（擴） kuò（ㄎㄨㄛˋ） （一）、推广，伸张，放大，张大：扩大。扩展。扩散（ sàn ）。扩建。 详情>
【散的意思】：散 sàn（ㄙㄢˋ） （一）、分开，由聚集而分离：分散。解散。涣散。散落。散失。散逸。（二）、分布， 详情>
【炉的意思】：炉（爐） lú（ㄌㄨˊ） （一）、取暖、做饭或冶炼用的设备，种类很多，普通用煤火发热，有用煤气、电力 详情>