为一种平版印刷技术，用以转移电路设计图和晶片上的电子元件到晶圆上。晶圆上先涂有对光敏感的膜（抗光蚀），被透过光罩上的光照射到的部份会变硬，以利后续处理。
【光的意思】：光 guāng（ㄍㄨㄤ） （一）、太阳、火、电等放射出来耀人眼睛，使人感到明亮，能看见物体的那种东西 详情>
【刻的意思】：刻 kè（ㄎㄜˋ） （一）、雕，用刀子挖：刻本（雕版印成的书本）。刻石。刻字。刻板。刻舟求剑。（二） 详情>
• 矢量扫描电子束光刻
• 光刻胶安全灯的评价
• 纳米计量与原子光刻技术分析
• 影响全息光刻图形质量的因素
• 光刻胶的旋涂与烘烤，薄膜材料制备。
• 光刻线条均匀、一致，可以有效控制图形。
• 剂量均匀的紫外光对光刻胶的曝光是非常关键的。
• 微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
友情链接：姓名测试