词语繁体：機械拋光
词语读音：jī xiè pāo guāng
首字拼音：Ji
词语拼音：ji xie pao guang
词语简拼：JXPG
词语结构：ABCD式词语
词语字数：四字词语
机械抛光是依靠非常细小的抛光粉的磨削、滚压作用，除去试样磨面上的极薄一层金属。抛光常常用于增强产品的外观，防止仪器的污染，除去氧化，创建一个反射表面，或防止腐蚀的管道。在冶金中，抛光用于形成平坦，无缺陷的表面，用于在显微镜下检查金属的微观结构。抛光过程中可以使用硅基抛光垫或金刚石溶液。 抛光不锈钢也可以增加不锈钢的清洁卫生程度。
【机的意思】：机（機） jī（ㄐ一） （一）、事物发生的枢纽：生机。危机。转（ zhuǎn ）机。契机。（二）、对 详情>
【械的意思】：械 xiè（ㄒ一ㄝˋ） （一）、器物，家伙：器械。机械。（二）、武器：械斗。军械。缴械投降。（三）、 详情>
【抛的意思】：抛 pāo（ㄆㄠ） （一）、投，扔：抛掷。抛撒（亦作“抛洒”）。抛售。（二）、舍弃，丢下：抛弃。抛荒 详情>
【光的意思】：光 guāng（ㄍㄨㄤ） （一）、太阳、火、电等放射出来耀人眼睛，使人感到明亮，能看见物体的那种东西 详情>
• 多层互连中的化学机械抛光工艺
• 化学机械抛光中抛光垫作用分析
• 铁氰化钾化学机械抛光液中的腐蚀与钝化
• 4, 还对金刚石膜机械抛光和化学抛光的工艺和机理进行了深入研究。
• 以补偿式化学机械抛光为载具，作为进行创新研发之案例来阐述本方法之流程步骤。
• 机械抛光：借助于高速旋转的抹有抛光膏的抛光轮，以提高金属制件表面光亮度的机械加工过程。
• 抛光液中化学溶液的腐蚀与磨粒的机械磨削两者双重的作用，使得化学机械抛光能造成晶圆薄膜表面全面平坦化的效果。
• 介绍了在化学机械抛光过程中，可以通过抛光头与抛光台运动速度关系优化配置，降低晶片表面不均匀度，从而更好地实现晶片局部和全局平坦化。
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