词语繁体：反應離子刻蝕
词语读音：fǎn yìng lí zǐ kè shí
首字拼音：Fan
词语拼音：fan ying li zi ke shi
词语简拼：FYLZKS
词语字数：六字词语
反应离子腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀，即是利用离子能量来使被刻蚀层的表面形成容易刻蚀的损伤层和促进化学反应，同时离子还可清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用。但是该刻蚀技术不能获得较高的选择比，对表面的损伤大，有污染，难以形成更精细的图形。
【反的意思】：反 fǎn（ㄈㄢˇ） （一）、翻转，颠倒：反手（ａ．翻过手，手到背后；ｂ．反掌）。反复。反侧。（二） 详情>
【应的意思】：应（應） yīng（一ㄥ） （一）、该，当，又引申料想理该如此：应当。应该。应分（ fèn ）。应有 详情>
【离的意思】：离（離） lí（ㄌ一ˊ） （一）、相距，隔开：距离。太阳是离地球最近的恒星。（二）、离开，分开：分离 详情>
【子的意思】：子 zǐ（ㄗˇ） （一）、古代指儿女，现专指儿子：子女。子孙。子嗣。子弟（后辈人，年轻人 详情>
【刻的意思】：刻 kè（ㄎㄜˋ） （一）、雕，用刀子挖：刻本（雕版印成的书本）。刻石。刻字。刻板。刻舟求剑。（二） 详情>
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