晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
【晶的意思】：晶 jīng（ㄐ一ㄥ） （一）、〔结晶〕ａ．物质从液态或气态形成晶体；ｂ．喻珍贵的成果，如“这部作品 详情>
【圆的意思】：圆（圓） yuán（ㄩㄢˊ） （一）、从中心点到周边任何一点的距离都相等的形：圆形。圆圈。圆周。圆锥 详情>
• 参杂中子变嬗变晶圆
• 对晶圆黏胶片吹热风
• 发光二极体晶圆通信用
• 晶圆定向平面摆齐装置
• 晶圆厂的所有权是关键。
• 晶圆边缘曝光球状物去除
• 这浪费了大概一半的晶圆材料。
• 因此晶圆代工厂的增加是信息时代的熔炉。
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