镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
【靶的意思】：靶 bǎ（ㄅㄚˇ） （一）、练习射箭或射击用的目标：靶子。靶场。靶标。打靶。（二）、缰绳。（三）、供 详情>
【材的意思】：材 cái（ㄘㄞˊ） （一）、木料，泛指一切原料或资料：材料。教（ jiào ）材。素材。题材。就地 详情>
• 高靶材利用率的新型磁控溅射器
• 靶材发生侵蚀破坏和冲塞型破坏。
• 在薄膜溅射前,成功制备出溅射用靶材。
• 集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材
• 通过优化烧结时间和烧结温度等工艺参数，铬环靶材的烧结成本大大降低。
• 本文采用直流反应磁控溅射工艺，以金属钨为靶材，在玻璃和单晶硅片上沉积了WO3薄膜。
• 通过圆柱靶冲击波毁伤试验，检验了圆柱靶材料模型及其参数选取的合理性和网格收敛性。
• 热靶材料的选择与激光透过率的确定尤为重要，该方法中选用酚醛树脂作为热靶材料，激光的透过率仅为0.5%。
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