词语繁体：全氟化合物
词语读音：quán fú huà hé wù
首字拼音：Quan
词语拼音：quan fu hua he wu
词语简拼：QFHHW
词语字数：五字词语
PFC是指全氟化合物，在半导体制造领域，主要是在CVD工序中做为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。其由于能破坏地球的臭氧层产生温室效应已经被列为减少排出对象。
【全的意思】：全 quán（ㄑㄨㄢˊ） （一）、完备，齐备，完整，不缺少：齐全。完全。智勇双全。求全责备。（二）、 详情>
【氟的意思】：氟 fú（ㄈㄨˊ） （一）、一种气体元素，淡黄色，味臭、性毒。液态氟可作火箭燃料的氧化剂。含氟塑料和 详情>
【化的意思】：化 huà（ㄏㄨㄚˋ） （一）、性质或形态改变：变化。分化。僵化。教（ jiào ）化。熔化。融化。 详情>
【合的意思】：合 hé（ㄏㄜˊ） （一）、闭，对拢：合眼。合抱。珠连璧合。貌合神离。（二）、聚集：合力。合办。合股 详情>
【物的意思】：物 wù（ㄨˋ） （一）、人以外的具体的东西：事物。生物。物体。货物。礼物。文物。物价。物质。地大物 详情>
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