词语繁体：光刻技術
词语读音：guāng kè jì shù
首字拼音：Guang
词语拼音：guang ke ji shu
词语简拼：GKJS
词语结构：ABCD式词语
词语字数：四字词语
集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫米级到亚微米级），已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新技术；使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃数量级范围。光刻技术成为一种精密的微细加工技术。
【光的意思】：光 guāng（ㄍㄨㄤ） （一）、太阳、火、电等放射出来耀人眼睛，使人感到明亮，能看见物体的那种东西 详情>
【刻的意思】：刻 kè（ㄎㄜˋ） （一）、雕，用刀子挖：刻本（雕版印成的书本）。刻石。刻字。刻板。刻舟求剑。（二） 详情>
【技的意思】：技 jì（ㄐ一ˋ） （一）、才能，手艺：技术。技巧。技艺。技能。技法。黔驴技穷。雕虫小技。 详情>
【术的意思】：术 shù（ㄕㄨˋ） （一）、技艺：技术。艺术。武术。学术。不学无术。（二）、方法：战术。权术。心术 详情>
• 纳米计量与原子光刻技术分析
• 光刻技术应用到集成电路制造中，就是将掩模版的几何图形转移到硅片表面的工艺过程。
• 开展了球面激光直写光刻技术研究，分析了球面直写光刻工艺实验难点，提出了有效的解决办法，进行了初步的实验研究。
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